2025年9月25日，全球光學與精密測量技術領導者蔡司（ZEISS）正式推出新一代MMZ 1三坐標測量機，憑借花崗石材料創新應用與智能化技術突破，實現對 5 噸級大型工件的納米級精度測量，為半導體、航空航天等高端制造領域提供革命性檢測解決方案。
一、核心技術突破：材料革命與智能系統深度融合
MMZ 1 首次采用花崗石 Y 型導軌與碳化硅柱塞復合結構，利用天然花崗巖卓越的熱穩定性（熱膨脹系數低至 0.35ppm/℃）與碳化硅的超高剛度特性，將設備動態剛度提升至 120N/μm，振動響應速度較傳統鋼質導軌提升 3 倍。配合蔡司專利的氣動隔振系統，無需昂貴地基即可在工業環境中實現 ±0.5 納米級振動抑制，滿足 EUV 光刻機反射鏡、航空航天鈦合金部件等精密工件的極端測量需求。
設備搭載的智能能量管理系統通過熱電聯產技術回收氣動廢熱，使整體能耗降低 34%，同時將測量環境溫度波動控制在 ±0.05℃/ 小時，遠超 ISO 10360-2 標準要求。其模塊化設計支持接觸式探針、激光掃描、共聚焦顯微鏡等多探頭快速切換，結合 AI 算法優化測量路徑，檢測效率較傳統設備提升 40% 以上。
二、高端制造場景全覆蓋：從半導體晶圓到航空發動機
在半導體領域，臺積電南京工廠使用 MMZ 1 對 3 納米制程 EUV 光罩進行檢測，實現圖形邊緣粗糙度（LER）測量誤差＜±1 納米，光罩缺陷率降低至 0.02ppm，單臺設備年效益突破 1.2 億元。航空航天領域，空客 A350XWB 機翼梁加工中，該設備將曲面加工誤差從 ±5 微米壓縮至 ±1.2 微米；羅爾斯?羅伊斯通過其納米級檢測能力，成功識別出傳統設備無法發現的 0.5 微米級渦輪葉片晶界裂紋，避免單次質量事故可能導致的 5000 萬元損失。
三、引領行業標準升級 推動全球制造智能化轉型
蔡司 MMZ 1 的技術參數直接推動 ISO 10360-8 標準修訂，新增的納米級測量不確定度評定方法已納入 2026 版草案。同時，設備支持數字孿生虛擬調試，將客戶現場調試周期縮短 50%，全生命周期成本降低 45%，并通過歐盟 CE 認證與 REACH 環保法規，成為全球首個實現“零碳測量”的高端檢測設備。
“MMZ 1 不僅是一臺測量機，更是連接制造數據與質量管控的智能樞紐。”蔡司工業質量解決方案全球總裁 Dr. Michael Kaschke 表示，“我們正與中國半導體企業深度合作，助力國產芯片制造突破精度瓶頸，推動全球高端制造向納米級精度時代邁進。”
目前，MMZ 1 已在華為海思、長江存儲、中微公司等企業實現批量應用，2025 年上半年中國市場裝機量同比激增 120%，鞏固了蔡司在高端三坐標測量領域的領導地位（全球市場份額 58%）。隨著德國漢諾威工業展與美國 IMTS 展的臨近，這款 "工業顯微鏡" 將持續引領精密測量技術的發展方向，為智能制造提供核心基礎設施支撐。
關于蔡司
蔡司是全球光學與光電領域的技術先鋒，致力于通過創新技術塑造未來。在工業質量解決方案領域，蔡司提供從坐標測量機到自動化檢測系統的完整產品組合，服務于半導體、汽車、航空航天等高端制造行業，推動全球制造業精度升級與智能化轉型。
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